EUV光源目前有两条技术路线，一是日本Gigaphoton公司的路线，一条是美国Cymer公司（已被ASML收购）的路线。为了使锡滴电离产生更高质量的EUV光，需要激光器打两次脉冲，一次预脉冲，一次主脉冲。Gigaphoton和Cymer的技术路线是预脉冲和主脉冲都用二氧化碳激光器（10.6μm），但Gigaphoton主脉冲用的激光器和Cymer的略有差别，这里就不详细展开说明。二氧化碳激光器的功率和占地面积很大，散热问题也比较难以解决。此前选择预脉冲驱动光源时尝试过体积很小很常用的Nd：YAG激光器（1μm），但效果不如二氧化碳激光器。然而，理论表明预脉冲采用波长2μm左右的预脉冲光源效果好，而掺铥激光器波长恰好在1.8μm-2.5μm之间。发明一种有诸多优点的用掺铥激光器代替二氧化碳激光器的EUV光源驱动光源，这项技术已经在中国取得突破性进展并申请了专利。可以说，这是国内EUV光源为数极少的技术方案之一。但建成一台能高效率、长时间工作的高功率EUV光源有许多技术难点，毫无疑问，独立自主搭建一台250W以上的高功率EUV光源样机还有很长的路要走。后，我们应正确认识何为专利：对产品、方法或者其改进所提出的新的技术方案。现在专利只是一种设计方案，并不代表着实质性的科研或工程成果。不过令人欣喜的一点是，我们正按照专利里设想的那样向前迈进。

看现在学生的教材，突然发现还是80后学生时代的教材插图各方面都是比较优秀，这些插图勾起你的回忆吗？还能说出插图的课文题目吗？你有没有像鲁迅先生一样，在书桌上刻个早字，慢慢的回忆！

女人越来越年轻精致的五个技巧1.脸黄有斑:一勺蜂蜜,滴几滴柠檬,混合搅拌均匀,晚上睡前涂在脸上,坚持两周,斑没有了2.胸瘪下垂:几颗红枣加清水煮开,加入两勺酒酿,打入鸡蛋滚烫后加入红糖搅匀,半个月胸饱满丰盈3.掉头发:熬夜掉发,用含侧柏叶的络凡提洗发水洗头,强韧发根,不伤头皮,头发越洗越多4.嘿眼圈:纯牛奶中加入白糖再把姜片浸泡15分钟,敷在眼睛上15分钟,嘿眼圈很快消失了5.皮肤干:香蕉捣碎后加入牛奶,搅拌后敷在脸上,10分钟后冲洗干净,脸蛋白嫩了#爱维滴简介#

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