【哈工大突破EUV光刻键技术，卡脖子问题即将得到解决】仪器科学与技术学科排名世界第一的哈工大突破“高速超精密激光干涉仪”技术，这是我国光刻机一项关键技术，2022年12月6日荣获首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜金奖第一名。采用这种激光干涉仪，才能满足掩膜工作台、硅片双工作台、物镜系统复杂的相对位置和姿态测量需求，光刻机的整体套刻精度。这对国产光刻机有什么意义呢？这项技术解决了我国高端装备发展和量子化计量基准等前沿研究的“卡脖子”问题。哈工大仪器科学与工程学院胡鹏程教授团队突破系列核心测量方法和工程化关键技术，该领域存在的测不准、测不精、测不快的核心难题将被彻底解决。众所周知，EUV光刻机涉及10万个零部件，来自全球100多个国家，即使是荷兰阿斯兰也无法制造出光刻机所有的零部件，也需要从其他国家进口，完成光刻机的组装。所以说，光刻机是一个十分精密复杂的设备，涉及DPP-光源、双工件台、物镜是光刻机的3大核心系统。目前在双工件台、物镜核心技术，我国中科院等机构早已突破，搭建出了EUV光刻机的国产产业化主体“框架”，只剩下光源方面。哈工大在EUV激光光源、光刻机双工327作台等技术上取得突破性进展，并成功研制出高速超精密激光干涉仪，目前可用于350nm到28nm工艺的光刻机样机集成研制和性能测试，打破了西方打造的光源技术壁垒。按照这种研发速度，哈工大可以凭借自己的技术联合其它相关科研企业单位开发出国产EUV光刻机。与此同时，掌握的这些新技术可以作为储备技术，为未来开发7nm以下的光刻机节点突破提供重要支持、奠定坚实基础。

太感人！哈工大的学子，教授们祖国各族人民感谢你们为国争光的刻苦钻研努力的精神，为国争光！

正值岛国偷排核废水事件闹得纷纷扬扬之际，哈工大传来核安全方面的好消息。6月20日，哈工大空间结构研究中心的沈世钊院士、范峰教授团队，与中国核电工程有限公司联手，开展的严重事故下“华龙一号”安全壳结构性能试验，圆满完成了全部试验任务，取得了系列突破性进展，对核电安全利用作出了重大贡献。该试验真实模拟“华龙一号”发生严重安全事故下，安全壳在高温、高压和高湿下的极限性能。为此，还按照1:3.2的比例仿造了“华龙一号”安全壳，这是世界上大的安全壳模型。经过艰苦卓绝的准备和试验，科研团队取得了以下领域的多项突破性进展：先进核电厂安全壳结构抗爆抗冲击性能，新型结构体系，精细化施工控制，极端环境的复杂试验方法等。这为发生严重事故时全面提升安全壳系统性能、“华龙一号”的后续研发和正在运行的核电厂安全等提供了有力支撑，其价值可想而知。据悉，该科研团队由范峰教授带队，支旭东教授、钱宏亮教授、严佳川教授、王化杰副教授、张荣博士、张志伟博士、博士生杨青屿参与研究，哈工大威海校区新能源学院的谭建宇教授、郝晓文副教授、于秋红副教授、王方舟副教授参与了加载系统的研究工作。另，“华龙一号”的总设计师是来自哈工程的邢继，哈工程主要以“三海一核”立校，在核科学方面培养了大量人才，学科评估位列全国三四位。#头条# #2023高考季# #华龙一号# #在头条看见彼此##哈工大王洪滨教授简介#

哈工大这位教授的人生太传奇了，堪称当年成百上千万优秀中专生的典范！初始学历中专，毕业后自考本科，然后读硕士和博士，博士论文被评为全国百篇优秀博士学位论文。现为哈工大教授，博士生导师，欧洲科学院院士……

事实证明，哈工大虽然教授专家很多，但真懂得弄企业，懂金融的没有。这个是摔倒的原因。