半导体 ALD 设备基本由国际巨头垄断,目前,国际半导体设备领军厂商先晶半导体(ASMI)、东京电子(TEL)、泛林半导体(Lam)、应用材料(AMAT)等的产品线均涵盖 ALD 设备。从国内市场来看,拥有半导体薄膜沉积设备业务的上市公司主要有拓荆科技、微导纳米、北方华创、中微公司、盛美上海。其中,拓荆科技主要经营 PVD、PECVD 产品,ALD 设备已实现出货,在部分客户端处于工艺验证阶段;微导纳米主营 ALD 设备,其应用于逻辑芯片High-K 栅介质层的 TALD 产品目前已实现产业化应用,另有多个 ALD 产品系列处于验证阶段;中微公司主要为半导体客户提供刻蚀、MOCVD 设备,ALD 设备仍在筹划开发中;盛美上海已于 2022 年下半年推出立式 ALD 和 PECVD 新产品。
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3、先晶后胶和先胶后晶的区别刻蚀设备2025年全球市场规模将是155亿美元,复合增长率达12%长期一直被泛林半导体、东京电子、应用材料(AMAT)三大巨头占据东京电子占52%,国内中微公司只占3%。化学气相沉积CVD设备市场,应用材料占30%,泛林半导体占21%,东京电子占19%,三大企业占了全球70%。在原子层沉积ALD中,东京电子占31%,先晶半导体占29%,合计60%。中国薄膜沉积设备98%依赖进口,国产化率只有2%,主要是北方华创和拓荆科技。杨军郑和华合著新书《股权合伙控制解答》已经在京东、当当、天猫、抖音、拼多多有售!